檢測項目
| 項目名稱 | 檢測設(shè)備 | 設(shè)備型號 |
| 深度濃度分析 |
二次離子質(zhì)譜儀
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IMS 7f-Auto |
| AFM形貌/表面粗糙度 | 原子力顯微鏡 | Dimension EDGE |
| 多晶粉末物相定性分析 | X 射線衍射儀 |
SmartLab3KW（HRXRD）
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| 薄膜掠入射 | ||
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高分辨標(biāo)準(zhǔn)2θ/ω掃描 |
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搖擺曲線掃描 |
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反射率測試 |
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倒易空間 |
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PHI掃描 |
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極圖 |
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拉曼光譜 |
顯微拉曼光譜儀 |
RMS 1000 |
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原位拉曼（77-500K） |
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微區(qū)mapping |
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噴金 |
冷場掃描電子顯微鏡 |
Regulus8230 |
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表面形貌 |
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表面元素分析 |
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陰極熒光圖譜/微區(qū)Mapping |
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室溫：電阻率/霍爾遷移率/載流子濃度/霍爾系數(shù) |
霍爾測試儀 |
HS-65-AEM |
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低溫（77K）：電阻率/霍爾遷移率/載流子濃度/霍爾系數(shù) |
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變溫（3-300K）熒光圖譜 |
深紫外變溫光譜 檢測系統(tǒng) |
HRS-500MS |
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液體/粉末/薄膜樣品：吸光度/反射率/透射率 |
分光光度計 （紫外可見近紅外） |
UH4150 |
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穩(wěn)態(tài)熒光：發(fā)射譜/激發(fā)譜/同步熒光/三維熒光 |
穩(wěn)態(tài)瞬態(tài)熒光光譜 |
FLS1000 |
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瞬態(tài)光譜：熒光壽命 |
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電壓/反向漏電流/輻射效率/光功率/波長/半波寬/飽和數(shù)據(jù) |
紫外LED模組輻射 測試系統(tǒng) |
PCE-2000UV |
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抗靜電能力測試（ESD） |
靜電放電測試儀 |
ZY920 |
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LED老化測試 |
恒溫恒濕老化試驗機 |
NK-RT-2-4005A |
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缺陷檢測/空洞率測試 |
微焦點X射線檢測系統(tǒng) |
Phoenix X丨aminer |
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晶圓片方阻測試 |
無損方阻測試 |
LEI-1510EB |
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